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MEMS公共技术平台

来源:创想智慧作者:admin 点击: 次  2013-06-24 15:11
MEMS设计与制造公共技术平台
 

一、中心概况

物联网产业发展的瓶颈在高端传感器和核心元器件。MEMS技术集成了当今科学技术的许多尖端成果,将信息处理与敏感及执行机构相结合,改变了人们感知和控制外部世界的方式,是物联网产业链中不可或缺的感知环节。目前,MEMS传感器已在汽车、工业控制、医疗、计算机、手机、游戏机、家电及国防领域得到广泛应用。

MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、发展中心、无锡华润上华半导体有限公司、中科院上海微系统与信息技术研究所、中科院微电子研究所等多家单位共同建设。

平台以核心技术突破、产业集聚、人才集聚、支撑物联网产业发展及应用示范为目标,将分别建设MEMS设计服务子平台、MEMS工艺试验线、MEMS测试服务子平台。

MEMS公共技术平台空间布局

MEMS设计与制造公共技术平台从完善MEMS传感器产业链的角度出发,依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力,通过发展中心的桥梁纽带作用,建设国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台,在无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台,在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。

MEMS规模生产线

MEMS公共技术平台的建成,可以大大降低初创公司的创业风险和资金压力,促进MEMS设计公司和技术平台共同技术进步。此外,研发生产线和规模制造线的无缝对接将使得MEMS成果实现快速产业化成为可能,加快我国MEMS的产业化进程和增强产业环境的良性循环,为物联网产业的发展提供有力的支撑作用。

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